《生化MEMS器件》王晓浩国防工业出版社

内容简介：

　　《生化MEMS 器件》选择了受到国家项目支持的几个技术主题，在微型泵和微型阀、微悬臂梁生化传感器、微型FAIMS 、基于M。EMS的细胞操作与分析技术等几个方面，系统介绍了国内外进展和我国的研究成果。这几个技术主题从器件结构上和敏感技术上看，都有独到的特点。
　　本书的特点是综述国内外研究概况和阐述研究成果相结合，并包括阅读本书所需要的一些必要的基本知识介绍。一些生化MEMS的设计、分析、测试等方面相关的理论和实验技术包含在各个章节中。相信读者通读本书后，对生化MEMS的发展、技术、应用能有一个相对全面的了解，并有助于从事不限于本书所涉及器件和系统的生化MEMS方面的研究。

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